Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров Полный текст диссертации— размещен 06.10.2014 г.
На соискание ученой степени:
Кандидат технических наук
по специальности 05.11.14 — Технология приборостроения